招标公告

1. 招标条件

本招标项目超高温退火炉 该项目已具备招标条件，现对超高温退火炉进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20260429A005

2.2 招标项目名称：超高温退火炉。

2.3数量: 1台

2.4 主要内容：超高温退火炉要求为8吋全新国产设备，具备SMIF-RFID式的晶圆传送识别装置和EAP通讯功能，主要用于离子注入后晶格修复、掺杂杂质激活、薄膜应力释放、热氧化层生长的专用热处理设备。退火工艺是芯片制程中的必要工艺，采用1000-1600℃超高温常压环境，通过氮气或者氩气惰性保护气体，在硅片衬底完成晶格重构、杂质激活以及界面缺陷消除。具体要求详见招标文件第五章供货要求。

2.5 交货

2.6 交货期：合同生效后60天内设备发货，设备装机与调试不超过45个工作日。

3. 投标人资格要求

3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 业绩要求：投标人需提供2023年1月1日至今已签订的投标机型同类超高温退火设备的销售业绩≥5台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人），合同内容须体现合同标的物、签订日期、甲乙双方签字或盖章页等能反映业绩要求的主要内容（如合同内容无法体现上述要求，需提供相应技术附件予以佐证），未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

3.3 其它要求：本项目接受制造商投标，不接受代理商投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5 投标人必须向招标代理机构

4.

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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade