in-line深紫外涂胶显影系统-公开招标公告_神华集团_国家能源

1. 招标条件

本招标项目in-line深紫外涂胶显影系统系统该项目已具备招标条件，现对in-line深紫外涂胶显影系统系统进行国内公开招标。

2.1 招标编号：ZKX20250341A054

2.2 招标项目名称：in-line深紫外涂胶显影系统

2.3 数量：1套

2.4 设备用途及系统组成：

设备用途：in-line深紫外涂胶显影系统主要应用于量子传感、硅光等芯片的微纳结构制造过程中的光刻工艺，通过和深紫外光刻机在线联机，完成光刻胶旋涂合烘烤后，将晶圆直接传送到光刻机进行曝光，再传送回该系统完成显影，达到最终将掩模版上的图形转印至光刻胶上的目的。

系统组成：in-line深紫外涂胶显影系统系统主要由上下料单元、传输单元和涂胶显影单元等组成。

2.5 交货

2.6 交货期：合同签订后6个月内到货。

3. 投标人资格要求：

3.1 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 本次招标不接受联合体投标。

3.3 本次招标接受代理商投标。一个制造商对同一品牌同一型号的设备，仅能委托一个代理商参加投标。提供制造商针对本项目（带本项目招标编号）的授权书（原件）。

3.4 财务要求：投标人应附2024年经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表，包括审计报告正文、资产负债表、现金流量表、利润表的复印件。投标人的成立时间少于上述规定年份的，应提供成立以来的财务报表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的可提供经审计的或单位内审的2024年财务报表。

3.5 业绩要求：投标厂商2022年至今有交付的in-line深紫外涂胶显影类设备3个以上（含3个）的成功案例，且提供有效的合同复印件、合同复印件对应的发票复印件或验收报告或收款证明等项文件；

3.6 信誉要求：投标人在经营活动中，无严重违法失信记录，具有良好的信誉。提供相关证明材料（如信用中国或各级信用信息共享平台的查询结果）或信誉承诺书。

3.7 投标人必须向招标代理机构