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全自动缺陷测试显微系统-公开招标公告

2025-11-170

投标邀请

全自动缺陷测试显微系统项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询(北京) (招标代理机构)受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所(招标人)的委托,对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称:全自动缺陷测试显微系统

1.2 招标编号:0779-25400341A064

1.3 项目概况:

本设备主要由主机、传送系统以及缺陷处理分析软件系统组成。设备采用光学成像良品对比的方式,应用于量子传感项目中前道工艺的ADI和AEI后的晶圆缺陷检测工艺,可兼容检测和识别各类不规则瑕疵:划伤、颗粒、残胶、沾污、图形缺失,对准偏移等,并可以对缺陷进行精准分类、计数,以及兼容线宽和套刻偏差的检测。

主要技术指标:

适用于6英寸晶圆, 同时可兼容8 英寸晶圆;

设备传片方式:机械手全自动传片;

支持ADI/AEI缺陷检测, 可自动识别、对比、和判断缺陷;

检测镜头配置5X,10X,20X,30X倍率物镜,缺陷确认配置X10,X20倍率物镜;

更多技术指标详见第八章。

1.4 数量:1套。

1.5 交货期:合同签订后7个月内交货。

1.6 项目现场:中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织,具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标,代理商必须获得制造商的合法授权,提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的;或制造商的独资公司开具的(同时须提供制造商与独资子公司的关系说明,并由双方签字或者盖章)。

2.3本项目不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 如有疑问,请致电中航工业 服务热线400-890-0880。

3.2 招标文件售价人民币800元或112美元,售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招标文件费用,支付后请自行提交电子发票申请(需再次进入链接点击消费记录后填写开票信息),电子发票将自动发 潜在投标人将付款凭证(形式不限)和发票上传交易平台,经招标人(代理机构)确认后,才能获得招标文件的下载权限。

3.3 投标人必须在中航工业 注册,办理CA数字证书与电子签章,否则无法投标。(详见中航工业 相关说明)。

4.

未在中国电力招标采购网(www.dlztb.com)上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在招标会员区根据招标公告的相应说明获取招标文件!
咨询电话:010-51957458
手 机:18811547188
联系人:李杨
QQ:1211306049
微信:Li18811547188
邮箱:1211306049@qq.com
来源:中国电力招标采购网
备注:欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后,查看项目业主,招标公告并下载资格预审范围,资质要求,招标清单,报名申请表等。为保证您能够顺利投标,具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准,以招标业主的解答为准本。
编辑:365trade

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