招标公告

1. 招标条件

本招标项目槽式湿法腐蚀设备 该项目已具备招标条件，现对槽式湿法腐蚀设备进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20260424A021

2.2 招标项目名称：槽式湿法腐蚀设备。

2.3数量: 1套

2.4 主要内容：槽式湿法腐蚀设备要求为国产全新设备，用于6英寸铟镓砷APD焦平面探测器等器件制造时键合晶圆背面介质腐蚀、背面材料腐蚀及衬底移除等湿法腐蚀工艺，实现批量化的晶圆背面表面处理与特定材料选择性腐蚀加工。设备依托不同种类的化学腐蚀溶液，能够进行大批量、大面积的以InP基半导体材料为基底，含InGaAs等半导体材料、SiNx、SiO2介质等材料的晶圆表面湿法腐蚀工艺，形成高均匀性高一致性的沟槽、台面或孔洞图形。具体要求详见招标文件第五章供货要求。

2.5 交货

2.6 交货期：合同生效后150天内。

3. 投标人资格要求

3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 业绩要求：投标人需提供2023年1月1日至今已签订的本次投标同型号或同系列的设备销售业绩≥5台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人），合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

3.3 其它要求：本项目不接受代理商投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5 投标人必须向招标代理机构

4.

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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade