招标公告

1. 招标条件

本招标项目侧墙刻蚀机 该项目已具备招标条件，现对侧墙刻蚀机进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20240429A049

2.2 招标项目名称：侧墙刻蚀机。

2.3 数量：1台。

2.4 主要功能要求：半导体制造工艺中，侧墙刻蚀是形成LDD结构必不可少的一个环节。侧墙结构一般为OX或者OX与SiN的复合膜结构，为介质刻蚀工艺，侧墙刻蚀机除了完成侧墙刻蚀工艺以外，还可以用来进行通孔刻蚀，是半导体制造中必不可少的工序。本项目采购的侧墙刻蚀机为8英寸全新国产设备、具备扩展SMIF和EAP通讯功能。

2.5 交货

3. 投标人资格要求

3.1投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照。

3.2业绩要求：投标人需提供本次投标同型号或同系列的设备从2020年至今的任意一年的销售业绩，且一年中累计销售量至少5台；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、合同标的物及其型号。

3.3 其它要求：本次招标不接受代理商投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构

4.

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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade