全反射X射线荧光光谱仪（TXRF）-公开招标公告

招标公告

全反射X射线荧光光谱仪（TXRF）项目已具备招标条件。资金来源为100%国拨资金。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国电子科技集团公司第四十四研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：全反射X射线荧光光谱仪（TXRF）

1.2 招标编号：0779-24400424A022

1.3 主要功能要求：主要用于辅助实现晶圆生产、加工工艺过程质量监控，也可用于工艺设备的金属沾污分析。该设备激发产生的X射线以很低的角度（如0.05°）入射到晶圆表面，激发出荧光，对荧光进行能谱分析及强度计算，从而分析出晶圆表面各元素的沾污量。须具备广泛的元素分析范围，元素分析范围包含11Na~99U中的部分碱金属元素、过渡金属元素和重金属元素，至少包含对钠、铝、钾、钙、钛、铬、铁、镍、铜、锌、银、镉、钨、铂、金、汞、铅元素的检测能力。

1.4 数量：1台。

1.5 交货期：合同生效后10个月内。

1.6 项目现场：重庆市沙坪坝区西永大道23号中国电子科技集团公司第四十四研究所。

2. 对投标人的资格要求

2.1投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，投标人如果为代理商，必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.3本次招标不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构

3. 招标

4.

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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade