金属膜及介质膜干法刻蚀系统-公开招标公告

金属膜及介质膜干法刻蚀系统项目已具备招标条件。招标项目资金已落实。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：金属膜及介质膜干法刻蚀系统

1.2 招标编号：0779-25400341A051

1.3项目概况：

本次金属及介质膜干法刻蚀系统设备招标采购旨采满足科研生产需求，其包含全自动综合反应离子刻蚀机1台和金属膜干法刻蚀机1台，其中全自动综合反应离子刻蚀机包含SiO2工艺腔和LN工艺腔各1个，金属膜干法刻蚀机包含金属工艺腔1个、去胶工艺腔1个。更多指标详见第八章技术规格。

金属及介质膜干法刻蚀系统主要技术指标如下：

SiO2工艺腔：刻蚀速率≥200nm/min（SiO2）；选择比≥1.5(SiO2：PR)；侧壁倾角≥80°（要求PR侧壁倾角≥80°）；片内均匀性≤3%；深宽比≥3:1（SiO2，2um线宽）；

LN工艺腔：刻蚀速率≥50nm/min；选择比≥0.5(LN：PR)；侧壁倾角≥75°（要求PR侧壁倾角≥80°）；片内均匀性≤5%；

金属工艺腔：刻蚀速率≥400nm/min（Al）；选择比≥2(Al：PR)；侧壁倾角≥80°；片内均匀性≤5%；

去胶腔：去胶速率≥500nm/min；片内均匀性≤10%；片间均匀性≤3%；

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：合同签订后8个月内到货。

1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。

2.3本项目不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 如有疑问，请致电中航工业 服务热线400-890-0880。

3.2 招标文件售价人民币800元或112美元，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招标文件费用，支付后请自行提交电子发票申请(需再次进入链接点击消费记录后填写开票信息)，电子发票将自动发 潜在投标人将付款凭证（形式不限）和发票上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。

3.3 投标人必须在中航工业 注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业 相关说明）。

4.

未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在招标会员区根据招标公告的相应说明获取招标文件！
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来源：中国电力招标采购网
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：365trade