投标邀请
等离子体增强化学气相沉积设备项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。 1. 招标范围 1.1 货物名称：等离子体增强化学气相沉积设备 1.2 招标编号：0779-26400341A009 1.3 项目概况 设备通过感应耦合等离子体方式（ICP）产生高密度等离子体，在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介质薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。 设备主要指标： （1）样品尺寸：最大6英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片，不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔室的开腔破真空； （2）反应腔室本底真空≤ 1E-6 mbar，真空漏率≤ 2E-4 mbar·L/s； （3）温度控制：采用背氦传热的动态温度控制系统，温度控制范围不小于 +30℃~+300℃，温度控制精度≤±1℃。 更多技术指标详见第八章。 1.4 数量：1套。 1.5 交货期：合同签订生效后8个月内到达用户现场。 1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。 2. 对投标人的资格要求 2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。 2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。 2.3投标人所投标设备2023年1月1日至今同品牌同型号的销售量≥3套，提供设备销售业绩证明（提供有效合同首页，技术协议及验收报告等证明材料，证明材料需有双方盖章） 2.4本项目不接受联合体投标。 2.5投标人必须向招标代理机构 3. 招标文件获取 3.1 如有疑问，请致电中航工业 服务热线400-890-0880。 3.2 招标文件售价人民币800元或112美元，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招标文件费用，支付后请自行提交电子发票申请(需再次进入链接点击消费记录后填写开票信息)，电子发票将自动发 潜在投标人将付款凭证（形式不限）和发票上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。 3.3 投标人必须在中航工业 注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业 相关说明）。 4.未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在招标会员区根据招标公告的相应说明获取招标文件！
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来源：中国电力招标采购网
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：365trade
