招标公告
1. 招标条件
本招标项目晶圆有机清洗机 该项目已具备招标条件，现对晶圆有机清洗机进行国内公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标编号：ZKX20260424A004
2.2 招标项目名称：晶圆有机清洗机。
2.3数量: 1台
2.4 主要内容：本次购买的晶圆有机清洗机要求为国产全新设备，主要应用于铟镓砷APD焦平面晶圆制程，用于清除晶圆在制程、储存及传输过程中晶圆附着的有机污染物、金属杂质、颗粒、自然氧化层及化学残留。从而实现刻蚀、介质膜、湿法腐蚀等工序间的顺畅衔接。设备依托用有机溶剂为工作介质，利用溶解、兆声等作用，针对不同污染物的化学特性，将其转化为可溶于水或可挥发的物质，最终通过超纯水冲洗和高效干燥，从而彻底清除晶圆表面残留物，避免其对器件表面形貌、电学特性及可靠性造成影响。具体要求详见技术规格书。
2.5 交货
2.6 交货期：合同生效后150天内。
3. 投标人资格要求
3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。
3.2 业绩要求：投标人需提供2023年1月1日至今已签订的本次投标的同型号或同系列全自动设备销售业绩≥3台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人），合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方及签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提供的业绩证明不予认可。
3.3 其它要求：本项目不接受代理商投标。
3.4本次招标不接受联合体投标。
3.5 投标人必须向招标代理机构
4.
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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade
