铌酸锂光波导刻蚀机项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。
1. 招标范围
1.1 货物名称：铌酸锂光波导刻蚀机
1.2 招标编号：0779-26400341A013
1.3 项目概况
主要用于铌酸锂基片及薄膜的高精度刻蚀，通过等离子体刻蚀技术在铌酸锂材料表面形成高深宽比、高垂直度的微纳结构，支持电子束光刻胶等掩模方式，满足光波导器件的精密加工需求。
设备主要指标：
（1）刻蚀反应腔室具备加热功能，加热温度≥50℃，加热区域包括腔体壁、真空管道、阀、防着板等，防着板加热温度≥200℃；
（2）上电极采用感应耦合等离子体源，功率≥2000W，频率≤13.56MHz，可以调节等离子体分布范围，配置自动匹配单元，匹配时间≤3秒，反射功率≤1%；
（3）下电极配置偏压射频源，功率≥1000W，频率≥12.5MHz，配备自动匹配单元，匹配时间≤3秒，反射功率≤1%（输出功率≥300W）或≤2W（输出功率≤300W）。
更多技术指标详见第八章。
1.4 数量：1套。
1.5 交货期：合同签订后2个月内到货验收。
1.6 项目现场：西安飞行自动控制研究所指定地点。
2. 对投标人的资格要求
2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。
2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。
2.3投标人或制造商2022年1月1日至今同品牌同型号的销售量≥3套，提供设备销售业绩证明（提供有效的合同首页、技术协议及验收报告等证明材料复印件）。
2.4本项目不接受联合体投标。
2.5投标人必须向招标代理机构
3. 招标文件获取
3.1 如有疑问，请致电中航工业电子采购平台服务热线400-890-0880。
3.2 招标文件售价人民币800元或112美元，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接: k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招标文件费用，支付后请自行提交电子发票申请(需再次进入链接点击消费记录后填写开票信息)，电子发票将自动发 潜在投标人将付款凭证（形式不限）和发票上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。
3.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。
4.
未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在 招标会员 区根据招标公告的相应说明获取招标文件！
咨询电话：010-51957458
手 机：18811547188
联系人：李杨
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来源：中国电力招标采购网
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术及商务信息服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，
招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准。
编辑：hnjmrh.gov
