1、招标条件
项目概况:设备名称：PECVD
设备数量：2台
腔体要求：3腔（单腔双片），其中包含：2个SiH4 base，1个TEOS base；
设备原理及用途：PECVD是腔室在低压高温条件下，通入反应气体，形成等离子体，进行化学反应，在硅片表面淀积薄膜。PECVD主要用于产品中二氧化硅、氮化硅的制备。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2440SUMECF28/05
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之PECVD
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | PECVD | 2 | 蝶阀控压精度 ≤1.5%。其他参数详见第八章 | 无 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
② 投标人可以是设备制造厂家或设备再制造厂商，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供承诺书，格式自理）。
⑤ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-04-29
招标文件领购结束时间:2024-05-09
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦8楼西侧（南京市长江路198号）
招标文件售价:￥3000/$400
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-05-22 10:00
投标文件送达地点:苏美达大厦辅楼三楼开标大厅301室
开标地点:苏美达大厦辅楼三楼开标大厅301室
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
地址:安徽省蚌埠市东海大道888号
联系人:陈逊频
联系方式:13906020315
招标代理机构:苏美达国际技术贸易有限公司
地址:南京长江路198号11楼
联系人:江岳峰/朱志云/邓梦诗
联系方式:18551719296、025-84531619
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
