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项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之立式合金炉、立式氧化炉、立式退火炉
招标项目编号：0709-244035614022
招标范围：设备名称：立式合金炉设备数量：1台设备用途：用于器件加工中的合金工艺。设备名称：立式氧化炉设备数量：2台设备用途：用于器件加工中的高温氧化工艺。设备名称：立式退火炉设备数量：2台设备用途：用于器件加工中的高温退火工艺。
招标机构：中国仪器进出口集团有限公司
招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间：2024-04-24 09:30
公示开始时间：2024-05-14 15:24
评标公示截止时间：2024-05-15 17:00
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 中国 |
| 2 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 中国 |
| 3 | Tokyo Electron Limited | Tokyo Electron Limited | 日本 |
