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项目名称：中国科学院光电技术研究所掩模双面清洗系统采购项目
招标项目编号：0729-244OIT172352
招标范围：第1包：掩模双面清洗系统，1台； 预算金额：3400万元人民币，最高限价：3170万元人民币。
招标机构：东方国际招标有限责任公司
招标人：中国科学院光电技术研究所
开标时间：2025-01-24 09:30
公示时间：2025-01-24 17:32 - 2025-01-27 23:59
中标结果公告时间：2025-02-07 15:03
中标人：SUSS MicroTec Lithography GmbH
制造商：SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG
制造商国家或地区：德国
