面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目VOX氧化钒薄膜溅射沉积设备采购项目单片式湿法去胶机采购项目撤项公告

【中国国际招标网】

招标项目编号：0705-264506024002

项目名称：面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目VOX氧化钒薄膜溅射沉积设备采购项目单片式湿法去胶机采购项目

招标人：上海新微技术研发中心有限公司

招标机构：上海国际招标有限公司

招标方式：公开招标

招标结果：撤项