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招标项目编号：0705-264506024003
项目名称：面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目VOX氧化钒薄膜溅射沉积设备采购项目
项目名称（英文）：ICB for VOX Vanadium Oxide Thin Film Sputtering and Deposition Equipment Procurement Project for MEMS Heterogeneous Integration Common Process Platform for Intelligent Sensors
招标人：上海新微技术研发中心有限公司
招标机构：上海国际招标有限公司
招标方式：公开招标
招标结果：重新招标
