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项目名称：面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目等离子体金属刻蚀设备采购项目
招标项目编号：0705-264506024004
招标范围：等离子体金属刻蚀设备
招标机构：上海国际招标有限公司
招标人：上海新微技术研发中心有限公司
开标时间：2026-04-21 10:30
公示开始时间：2026-04-21 13:30
评标公示截止时间：2026-04-24 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 中国 |
