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项目名称：燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购
招标项目编号：1289-264026ZB0317
招标范围：编号设备名称数量简要技术说明1栅氧化炉设备1台用于第三代半导体 SiC 晶圆的干氧、湿氧、一氧化氮退火等高温热处理工艺使用，适用于 4、6 吋碳化硅片，最高工艺温度 1350℃，配有自动装片装置，具有 Cassette to Cassette 装片功能。
招标机构：华采招标集团有限公司
招标人：北京燕东微电子股份有限公司
开标时间：2026-05-07 10:00
公示时间：2026-05-08 13:03 - 2026-05-12 23:59
中标结果公告时间：2026-05-13 09:15
中标人：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商国家或地区：中国
