半导体光刻胶及关键材料研究和产业化（Ⅱ期一标段）石墨冷凝器设备采购项目澄清文件01号

半导体光刻胶及关键材料研究和产业化（Ⅱ期一标段）石墨冷凝器设备采购项目

澄清文件01号

各潜在投标人：

现对半导体光刻胶及关键材料研究和产业化（Ⅱ期一标段）石墨冷凝器设备采购项目招标文件澄清如下：

因工艺要求发生变化，石墨冷凝器要求发生相应变化，本次项目仅针对金属离子杂质进行管控，管控标准变更为：金属离子杂质≤10ppb。

招标文件其他内容不变。